반도체 제조 근로자를 위한 건강관리
반도체 제조 사업장에서는 안전을 위한 여러 형태의 지침을 활용하고 있지만 주로 생산설비의 안전관리에 초점이 맞춰져 있어 근로자의 건강관리에 활용하기에는 제한점이 있다. 안전보건연구원에서는 「반도체산업 근로자를 위한 건강관리 매뉴얼」을 개발하여 근로자에게 실제적으로 도움을 줄 수 있도록 했다. 공정별 유해요인 노출특성을 고려하여 위험요인에 대한 건강관리 가이드를 제공한다.
유해화학물에 노출될 위험성이 많은 작업 환경
반도체 사업장에서는 다양한 공정에서 많은 화학물질을 사용하고 있다. 현재는 대부분의 공정이 자동화되어 있으나 사업장에서 따라서는 일부 수동으로 작업을 하는 경우가 있으므로 작업의 특성에 따라 적정한 개인보호구를 착용하고 작업을 해야 한다.
아울러 법적인 관리대상 유해인자는 아니지만 다양한 공정에서 자극성·독성 물질 등이 사용되고 있으므로 이에 대한 관리도 필요하다. PM작업은 예방적 유지보수(Preventive maintenance)작업을 말하는데 각종 부속의 세척, 부품교체 등을 위한 PM작업이 이루어진다.
이 과정에서 세척액, 잔류가스, 부산물 등에 노출될 수 있으므로 장비 내의 잔류물질을 충분히 배기하고, 개인보호구를 착용하고 작업을 해야 한다. 또한 용액 보충, 배관점검 등의 과정에서 화학물질 누출로 인해 급성중독 사고가 발생할 수 있으므로 안전한 방법에 따라 작업할 수 있도록 관리한다. PM작업은 협력업체 근로자에의해 수행되는 경우가 많으므로 이들 근로자에 대해서도 교육 및 작업관리가 제대로 이루어질 수 있도록 한다.
근로자 건강관리
반도체 제조 사업장에서는 다양한 화학물질이 사용되고 있으며 이러한 화학물질에 의해 다양한 건강영향이 나타날 수 있으므로 이상 증상이 나타날 경우 의사나 보건관리자와 상담을 해야 한다.
<신경계>
■ 대부분의 유기용제는 신경계에 영향을 미치며 급성 또는 만성적 영향으로 아래와 같은 증상이 나타날 수 있음
• 급성영향 : 두통, 구역질, 현기증, 졸림 등
• 만성영향 : 기억력 감퇴, 감각 및 운동신경의 반응성 감소 등
※ 일부 공정에서는 공정조건(열)에 의해 원재료로부터 미량의 부산물이 발 생하여 위와 같은 증상이 나타날 수 있음
<피부>
■ 자극성 및 알레르기성 피부염
- 산·알칼리는 피부 및 점막에 자극성을 나타내며 일부 유기용 제, 수지류의 경우 알레르기원으로 작용하여 아래와 같은 증상 이 나타날 수 있음
• 눈물, 따가움, 충혈
• 가려움, 부어오름, 발적
※ 또한 작업용 장갑 착용 및 그로 인해 장시간 땀에 젖어 피부염이 생기거 나 악화될 수 있으며, 그 밖에 클린룸 온·습도 유지 시스템의 영향으로 눈 및 점막, 피부 건조감을 느낄 수 있음
- 접촉성피부염이 발생한 경우 다른 물질로 대체하거나 작업 전 환 등을 검토할 필요성이 있음
<호흡기계>
■ 웨이퍼 가공 공정에서 사용되는 산·알칼리류나 칩 조립공정에서 사용되는 수지류, 플럭스 등은 호흡기 점막을 자극하며 아래와 같 은 증상이 나타날 수 있음
•기침, 천명음(쌕쌕거리는 숨소리), 흉통
- 자극성이 심한 물질에 고농도 노출시에는 호흡기 점막의 손상으 로 폐부종을 일으킬 수 있음
■ 발작적인 기침이 자주 나타나는 경우 천식을 의심해 볼 필요가 있음
- 호흡기내과의 진료와 필요한 검사(폐기능검사, 기관지유발시 험, 피부단자시험 등)를 통해 천식인지 여부와 작업과의 관련 성을 평가한 후 직업성천식으로 확진되면 작업전환이 필요함 |